請(qǐng)問(wèn),HiPIMS高能磁控電源輸出線(xiàn)有什么注意事項(xiàng)?
請(qǐng)問(wèn),HiPIMS高能磁控電源輸出線(xiàn)有什么注意事項(xiàng)?
一、電源輸出線(xiàn)離腔體盡量近,電源線(xiàn)盡量短
為了保證脈沖電流波引入到真空腔體時(shí)波形不畸變,且衰減小。期望在系統(tǒng)中,脈沖電鍍電源與真空腔體的距離2-3m為佳,長(zhǎng)線(xiàn)易對(duì)脈沖電流波形的上升、下降沿產(chǎn)生較大的影響,真空腔體打火時(shí),滅弧效果有影響。
二、正負(fù)極導(dǎo)線(xiàn)使用同軸線(xiàn)纜或者雙絞屏蔽
脈沖電源的輸出銜接,導(dǎo)線(xiàn)間的電感效應(yīng)越小越好。因而陰、陽(yáng)極導(dǎo)線(xiàn)最好的辦法就是同軸無(wú)感線(xiàn)。但為了省成本和線(xiàn)徑的考慮,也可使用兩根線(xiàn)纜高密度雙絞走線(xiàn),并在外層套密的金屬織網(wǎng)屏蔽層,屏蔽層接良好的靜電地,減少對(duì)外圍設(shè)備的干擾。
三、 線(xiàn)纜線(xiàn)徑的選擇
由于是脈沖電源,為了避免趨夫效應(yīng),在導(dǎo)線(xiàn)挑選時(shí),應(yīng)挑選多股芯線(xiàn)作脈沖電源到真空腔體靶極的連接線(xiàn)。多股芯線(xiàn)絞織,其間的線(xiàn)電能夠抵消其電感效應(yīng)。導(dǎo)線(xiàn)的線(xiàn)徑一定要滿(mǎn)足其通過(guò)的平均額定電,且耐壓值高于脈沖輸出電壓。由于脈沖電流的電流密度要比均勻電流電流密度幾十倍甚上百倍,因而有必要考慮能接受脈沖電源的電流所發(fā)生的電流熱效應(yīng)