HIPIMS是高功率脈沖磁控濺射技術(shù)(High power impulse magnetron sputtering)的簡稱,其原理是利用較高的脈沖峰值功率和較低的脈沖占空比來產(chǎn)生高濺射金屬離化率的一種磁控濺射技術(shù)。
HiPIMS-400A 是由新鉑科技打造的一款適用于高校鍍膜實驗需求的真空鍍膜電源,可直流+脈沖組合輸出,脈沖峰值電流高,具有高離化率,放電密度大、粒子能量高、反應(yīng)活性好。可作為直流磁控濺射電源的升級替代方案,無需改動即可用于現(xiàn)有磁控系統(tǒng)。抗腐蝕、耐磨損的硬質(zhì)鍍膜工藝中,高功率脈沖磁控濺射應(yīng)用是不二之選。

產(chǎn)品特點:
多波形設(shè)置,具有反向抑弧能力,膜層更細(xì)膩。
特別適合于高校PVD創(chuàng)新工藝的多波形設(shè)定。
可手機遠(yuǎn)程監(jiān)視和控制,調(diào)節(jié)各種參數(shù),遠(yuǎn)程關(guān)閉電源,監(jiān)控電源運行情況。
畫面完全同步,指令反饋迅速且精準(zhǔn)。走路、吃飯均可控之方便,甚至實驗中途去洗手間也會更從容。

型號  | HiPIMS-400A  | 
峰值電流  | 400A  | 
輸出電壓  | 200~1000V  | 
脈寬范圍  | 10~500uS  | 
頻率范圍  | 100~2500Hz  | 
峰值功率  | 400kW  | 
平均功率  | 脈沖10kW+ 直流10kW  | 
冷卻方式  | 風(fēng)冷  | 
輸入電源  | AC380V30kW 三相四線  | 
外控通訊  | RS485  | 
尺寸  |  480*220*900mm  | 
重量  | 50kg  | 
     18922924269